Suche

Dünnschicht-Charakterisierung


 

Raster-Auger-Mikroskopie (RAM)


Die Raster-Auger-Mikroskopie (RAM) ist eine äußerst oberflächensensitive Methode, basierend auf dem Auger-Effekt. Sie liefert Bilder der chemischen Zusammensetzung einer Oberflächenregion mit hoher örtlicher Auflösung. Zudem können mittels eines Sekundärelektronendetektors komplementäre Raster-Elektronen-Mikroskopische Aufnahmen erzeugt werden.

Hersteller / Gerätetyp:
  • Omicron, NanoSAM Lab S
Spezifikationen:
  • Auflösung:
    • unter 5 nm bei RAM
    • besser als 3 nm bei REM

 

Photoelektronen-Spektroskopie (XPS, UPS)


Mit Hilfe von Licht (Röntgen-, oder UV-Licht) werden Elektronen aus dem Festkörper ausgelöst (Photoeffekt), die dann energie- und impulsabhängig gemessen werden können. Die oberflächensensitive Photoelektronen-Spektroskopie (XPS, UPS) liefert Informationen über die elektrischen Eigenschaften (Valenz- und Leitungselektronen), die chemische Zusammensetzung, die Bindungszustände oder die Oxidationsstufen.

Hersteller / Gerätetyp:
  • Omicron

 

Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)


Ein hochenergetischer Helium-Ionenstrahl wird auf die zu untersuchende Probe gerichtet. Die zurückgestreuten He-Ionen werden energieaufgelöst detektiert. Dadurch gewinnt man Informationen über Schichtdicken, die Stöchiometrie der enthaltenen Elemente oder die Flächendichte und Dosen.

Hersteller / Gerätetyp:
  • High Voltage, Tandetron Beschleuniger

 

Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)


Mittels eines Ionenstrahls werden Sekundärionen aus der Probenoberfläche herausgelöst, die mit einem Massenspektrometer detektiert werden. Die Aufnahme von Tiefenprofilen bis zu einer Tiefe von einigen Mikrometern ist möglich.

Hersteller / Gerätetyp:
  • Atomika, SIMS 4100