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Mikroskopie


Von der Millimeter- bis zur Nanometer-Skala können alle Dimensionen der Probenstruktur mittels mikroskopischer Methoden (Digitalmikroskop, REM, TEM) aufgelöst werden. Zudem kann die Elementzusammensetzung der Probe sogar im Sub-Mikrometer-Bereich mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) bestimmt werden.

 

Optisches Digitalmikroskop


digimik

www.keyence.de

Das optische Digitalmikroskop (Keyence, VHX-600) ist eine Kombination von hochwertigen Objektiven mit einem leistungsfähigen Rechner. Es ermöglicht präzise Untersuchungen mit einer Vielzahl von Messfunktionen.
  • Leistungsstarkes Telezoom-Objektiv (VH-Z50) für großen Betrachtungsabstand von 85 mm mit 500-facher Vergrößerung
  • Hochauflösendes Zoomobjektiv (VH-Z500) mit optischem Zoom von 500x bis 5000x

 

Rasterelektronenmikroskop (REM / ESEM)


Phenom_G2_pro1www.phenom-world.com

Bei der Rasterelektronenmikroskopie wird ein Elektronenstrahl über die abzubildende Probenoberfläche geführt und die Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes genutzt. Je nach Probe ist eine Auflösung von bis zu 10 nm erreichbar.
Mittels EDX kann zudem die chemische Elementzusammensetzung der Mikrostruktur bestimmt werden.
Hersteller / Gerätetyp:
  • LEO (Zeiss), Gemini 982

  • FEI, XL 30 ESEM FEG

  • FEI (Phenom-World), Phenom

Spezifikationen / Besonderheiten:

XL 30 ESEM FEG:

Environmental-SEM (ESEM) erlaubt Untersuchungen bei höheren Drücken und unter Wasserdampf-Atmosphäre (wet-mode), sodass auch organisches Material sowie nicht-leitende oder stark ausgasende Proben ohne weitere Präparation (Beschichtung) zerstörungsfrei analysiert werden können.

Im High Vacuum-Modus (HiVac) lassen sich besonders hohe Vergrößerungen und Auflösungen erzielen.

 

Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)


MK_Jeol_jem-2100f

www.jeol.com

Bei der Transmissionselektronenmikroskopie durchstrahlt ein beschleunigter Elektronenstrahl (Beschleunigungsspannungen: 80 bis 200 kV) die dünne Probe, wodurch Auflösungen in atomarer Größenordnung ermöglicht werden. Mittels Anregung und Detektion charakteristischer Röntgenstrahlung kann die Elementzusammensetzung bestimmt werden.
Hersteller / Gerätetyp:
  • JEOL, JEM-2100F